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吉時利 4200A-SCS 參數分析儀

使用 4200A-SCS 加速半導體裝置、材料和製程開發的研究、可靠性和故障分析研究。 最高效能參數分析儀,其可提供同步電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V),以及超快速脈衝 I-V 量測。

在您的個人電腦上免費試用

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直流電流-電壓
(I-V) 範圍

10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V

電容-電壓 (C-V) 範圍

1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏壓器

脈衝 I-V 範圍

±40 V (80 V p-p), ±800 mA
200 MSa/秒,5 ns 取樣率

 

吉時利 4200A-SCS 參數分析儀
Analysis function of semiconductor parameter analyzer

透過參數提供深入的洞察資訊,快速且清楚。

讓您能更大膽探索。4200A-SCS 參數分析儀可將從開始設定到執行特性測試的時間減少高達 50%,進而提供無與倫比的量測和分析功能。此外,嵌入式量測專門知識提供無可匹敵的測試指引,並讓您對結果量測有無比信心。

特性

  • 適用於 DC I-V、C-V 和脈波 I-V 量測類型的進階量測硬體
  • 運用數以百計使用者可修改的應用測試,立即開始測試 - 全部都包含在 Clarius 軟體中
  • 自動化的即時參數擷取、資料蒐集、分析函數

精確的 C-V 特性分析

使用 4215-CVU,Keithley 最新的電容-電壓單位 (CVU),來量測單數位毫微微法拉。透過將 1 V AC 電源整合到 Keithley 業界領先的 CVU 架構中,4215-CVU 可以在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率進行低雜訊電容量測。

特性

  • 同類產品中首款能夠驅動 1 V AC 電源電壓的 C-V 電錶
  • 從 1 kHz 至 10 MHz 的 1 kHz 頻率解析度
  • 量測電容、電導和導納
  • 使用 4200A-CVIV 多開關量測最多高達四個通道

以 4215-CVU 進行毫微微法拉 (1e-15F) 電容量測

4200A SCS Front Femtofarad

量測。 切換。 重複。

4200A-CVIV 多切換模組可自動切換 I-V 和 C-V 量測,不需重新架設纜線或提起點測探針頭。 不同於競爭產品,四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本機視覺化見解,可在發生非預期結果時進行快速測試設定和輕鬆的疑難排解。

特性

  • 將 C-V 量測移至任何裝置終端,不需重新架設纜線
  • 使用者可針對低電流功能進行配置
  • 個人化輸出通道的名稱
  • 檢視即時測試狀態

I-V 特性的穩定低電流量測

4201-SMU 和 4211-SMU 模組讓您在高電容系統,達到穩定的低電流量測。4200A-SCS 共有四個精密電源/量測設備 (SMU) 模組可供選擇,您可以進行自訂以符合所有 I-V 量測需求。KEITHLEY 提供可現場安裝的裝置及可選用的前置放大器模組,確保您能夠在幾乎不會停機的情況下,進行最準確的低電流量測。

特性

  • 無須將儀器送回原廠,即可新增 SMU
  • 進行微微安培(飛安)量測
  • 最高 9 個 SMU 通道
  • 針對長纜線或大載盤(Chuck)進行最佳化
半導体パラメータアナライザは解析用プローバと温度コントローラをサポート

具備分析探棒和低溫控制器的整合解決方案

4200A-SCS 參數分析儀支援許多手動和半自動晶片探棒和低溫控制器,包括 MPI Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。

特性

  • 「點按」測試順序
  • 「手動」探棒模式測試探棒功能
  • 假探棒模式可啟用除錯,而不會移除指令

減少成本並保護投資

Keithley Care 方案只要按需求服務的一小部分成本,就可以提供快速、高品質的服務。 只要點選一下或一通電話即可取得維修涵蓋範圍 – 免報價單、採購單或核准造成的延遲。

深入瞭解

 

半導体パラメータアナライザでコスト削減
產品規格表 機型 說明 定價
檢視產品規格表 4200A-SCS-PKA
高解析度 IV
4200A-SCS:參數分析儀主機
4201-SMU:兩個用於高電容設定的中功率 SMU
4200-PA:一個前置放大器
8101-PIV:具有取樣裝置的測試治具
索取報價
檢視產品規格表 4200A-SCS-PKB
高解析度 IV & CV
4200A-SCS:參數分析儀主機
4201-SMU:兩個用於高電容設定的中功率 SMU
4200-PA:一個前置放大器
4215-CVU:一台高解析度多重頻率 C-V 單元
8101-PIV:一台具有取樣裝置的測試治具
索取報價
檢視產品規格表 4200A-SCS-PKC
高解析度 IV & CV
4200A-SCS:參數分析儀主機
4201-SMU:兩個用於高電容設定的中功率 SMU
4211-SMU:兩個用於高電容設定的高功率 SMU
4200-PA:兩個前置放大器
4215-CVU:一台高解析度多重頻率 C-V 單元
8101-PIV:一台具有取樣裝置的測試治具
索取報價
檢視產品規格表 4200-BTI-A
超快速 NBTI/PBTI
適用於以先進的矽 CMOS 技術進行精密的 NBTI 與 PBTI 量測套件 4200-BTI-A 包括:
  • (1) 4225-PMU 超快速 I-V 模組
  • (2) 4225-RPM 遠端前置放大器/開關模組
  • 自動化特性分析套件 (ACS) 軟體
  • 超快速 BTI 測試專案模組
  • 纜線
索取報價

生物感測器特性

生物感測器或 bioFET 會將生物回應轉換為分析物,進而成為電子訊號。整合至 4200A-SCS 的 Clarius 軟體包含用來測試 bioFET 的專案。將其用作生物感測器的特性分析傳輸和輸出特性的起點,並從那裡拓展您的工作。

請下載生物感測器應用摘要來開始使用
4200A-SCS
4210CVU-2

毫微微法拉電容量測

以 4215-CVU 模組量測子毫微微法拉電容。透過驅動 1 V AC,4215-CVU 在量測 1 fF 電容器時的雜訊位準可低至 6 attofarad。Clarius 軟體包含數十種用於量測電容和擷取重要參數的應用,這只是其中之一。

以 4215-CVU 進行毫微微法拉 (1e-15F) 電容量測

進行最佳化電容及 AC 阻抗量測

特性

  • 內建的毫微微法拉量測功能
  • 從 1kHz 到 10MHz 的 10,000 個頻率步驟
  • 使用使用者資料庫自訂任何裝置測試

半導體和 NVM 可靠度

將您的新技術放入測試,並搭配完整的脈波 I-V 特性。 4200A-SCS 隨附 NVRAM 技術最新功能的支援和隨即執行測試,從浮接閘道快閃到 ReRAM 和 FeRAM。 電壓與電流中的雙來源及量測功能可同時允許暫態和 I-V 域特性。

評估 MOSFET 裝置的熱載波引發衰減

固定式記憶體測試的單奈秒脈衝解決方案

固定式記憶體技術的脈波 I-V 特性

Semiconductor and NVM Reliability
C-V Measurement for High Impedance Applications

高阻抗應用解決方案的 C-V 量測

使用 Keithley 的自訂超低頻 C-V 技術來分析高電阻取樣的電容。 此技術的執行方式是僅使用電源量測單元 (SMU) 儀器,但也可與 4210-CVU 結合來執行更高的頻率量測。

使用 4200A-SCS 參數分析儀在高阻抗裝置上執行超低頻電容-電壓量測

簡化 MOSFET/MOSCAP 裝置特性分析的秘訣和技術

特性

  • 頻率範圍 .01 至 10 Hz,靈敏度 1 pF 至 10 nF
  • 3 位半典型解析度,最小典型 10 fF

使用長纜線或電容治具進行測試

使用 4201 或 4211-SMU 作測試時,需要很長的纜線和較高電容的治具。對於連接 LCD 測試台、探棒、開關矩陣或任何其他大型或複雜至測試儀,這些 SMU 最為理想。可現場安裝的版本讓您無須將裝置送回服務中心,即可增加容量。

採用 4201-SMU 和 4211-SMU 執行高測試連接電容的穩定低電流量測

Testing when using Long Cables or Capacitive Fixtures
Resistivity of Materials

材料的電阻率

使用 4200A-SCS 搭配整合式 SMU 可輕鬆使用四點共線性探棒或 van der Pauw 方法來量測電阻率。 包含的測試會自動執行重複 van der Pauw 計算,為您節省寶貴的研究時間。 10aA 的最大電流解析度和 >10­­­­16 OHM 的輸入阻抗能為您提供更精確且精準的結果。

使用 4200A-SCS 參數分析儀和四點共線性探棒進行半導體材料的電阻率量測

使用 4200A-SCS 參數分析儀進行 van der Pauw 和霍爾電壓量測

MOSFET 特性

4200A-SCS 可以透過元件或晶片上測試保留 MOS 裝置的完整特性的必要儀器。 包含的測試和專案會解決 MOSCap 的二極體厚度、臨界值電壓、摻雜濃度、流動離子濃度等等。 只需觸摸單一儀器盒中的按鈕,即可執行所有這些測試。

使用 4200A-SCS 參數分析儀時的 MOS 電容器 C‑V 特性

MOSFET Characterization
產品規格表 模組 說明 配置與報價
檢視產品規格表 4200-SMU 中功率電源量測單元 配置與報價
檢視產品規格表 4200-PA 遠端前置放大器模組 配置與報價
檢視產品規格表 4200-BTI-A 超快速 BTI 封包 配置與報價
檢視產品規格表 4200A-CVIV 多重切換 配置與報價
檢視產品規格表 4201-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT 配置與報價
檢視產品規格表 4210-SMU 高功率電源量測單元 配置與報價
檢視產品規格表 4211-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT 配置與報價
檢視產品規格表 4215-CVU 電容-電壓單位 配置與報價
檢視產品規格表 4220-PGU 高壓脈衝波產生器單元 配置與報價
檢視產品規格表 4225-RPM 遠端前置放大器/切換模組 配置與報價
檢視產品規格表 4225-PMU 超快速脈衝量測單元 配置與報價

從實驗室到晶圓廠的自動化控制

Keithley 的自動化特性分析套件 (ACS) 提供您完整的設備控制。無論您是需要控制工作台上的幾台儀器,還是需要自動化整個測試機架來進行生產,ACS 都能為裝置特性、參數測試、可靠性測試和簡單的功能測試提供靈活的交互式環境。

  • 執行簡單的測試或建立複雜的專案工作流程
  • 在 ACS 中使用 Python 編寫程式碼,以獲得無限靈活性和控制力
  • 手動或自動化晶片探棒控制
  • 資料管理和與統計分析功能

開始自動化

Clarius+ 分析套件

Clarius+ 軟體套件可讓您輕鬆取得材料和裝置的特性分析洞察資訊。其會在 4200A-SCS 上以原生方式執行,以規劃、設定及分析您的測試結果。Clarius 也可以安裝在任何 Windows 10 PC 上,以便在實驗室中執行測試之前進行規劃及設定,或在收集資料後進行分析。

  • 超過 200 項預先定的測試,讓您的實驗室運作得更快
  • Keithley 工程師所策劃收集的真實範例資料
  • 內建的內容相關說明和應用摘要
  • 監控模式用以即時檢視結果

立即下載