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吉時利 4200A-SCS 參數分析儀
使用 4200A-SCS 加速半導體裝置、材料和製程開發的研究、可靠性和故障分析研究。 最高效能參數分析儀，其可提供同步電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V)，以及超快速脈衝 I-V 量測。
(I-V) 範圍
10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏壓器
±40 V (80 V p-p), ±800 mA
200 MSa/秒，5 ns 取樣率
透過參數提供深入的洞察資訊，快速且清楚。
讓您能更大膽探索。4200A-SCS 參數分析儀可將從開始設定到執行特性測試的時間減少高達 50%，進而提供無與倫比的量測和分析功能。此外，嵌入式量測專門知識提供無可匹敵的測試指引，並讓您對結果量測有無比信心。
特性
- 適用於 DC I-V、C-V 和脈波 I-V 量測類型的進階量測硬體
- 運用數以百計使用者可修改的應用測試，立即開始測試 - 全部都包含在 Clarius 軟體中
- 自動化的即時參數擷取、資料蒐集、分析函數
精確的 C-V 特性分析
使用 4215-CVU，Keithley 最新的電容-電壓單位 (CVU)，來量測單數位毫微微法拉。透過將 1 V AC 電源整合到 Keithley 業界領先的 CVU 架構中，4215-CVU 可以在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率進行低雜訊電容量測。
特性
- 同類產品中首款能夠驅動 1 V AC 電源電壓的 C-V 電錶
- 從 1 kHz 至 10 MHz 的 1 kHz 頻率解析度
- 量測電容、電導和導納
- 使用 4200A-CVIV 多開關量測最多高達四個通道
量測。 切換。 重複。
4200A-CVIV 多切換模組可自動切換 I-V 和 C-V 量測，不需重新架設纜線或提起點測探針頭。 不同於競爭產品，四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本機視覺化見解，可在發生非預期結果時進行快速測試設定和輕鬆的疑難排解。
特性
- 將 C-V 量測移至任何裝置終端，不需重新架設纜線
- 使用者可針對低電流功能進行配置
- 個人化輸出通道的名稱
- 檢視即時測試狀態
I-V 特性的穩定低電流量測
4201-SMU 和 4211-SMU 模組讓您在高電容系統，達到穩定的低電流量測。4200A-SCS 共有四個精密電源/量測設備 (SMU) 模組可供選擇，您可以進行自訂以符合所有 I-V 量測需求。KEITHLEY 提供可現場安裝的裝置及可選用的前置放大器模組，確保您能夠在幾乎不會停機的情況下，進行最準確的低電流量測。
特性
- 無須將儀器送回原廠，即可新增 SMU
- 進行微微安培(飛安)量測
- 最高 9 個 SMU 通道
- 針對長纜線或大載盤(Chuck)進行最佳化
具備分析探棒和低溫控制器的整合解決方案
4200A-SCS 參數分析儀支援許多手動和半自動晶片探棒和低溫控制器，包括 MPI Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。
特性
- 「點按」測試順序
- 「手動」探棒模式測試探棒功能
- 假探棒模式可啟用除錯，而不會移除指令
減少成本並保護投資
Keithley Care 方案只要按需求服務的一小部分成本，就可以提供快速、高品質的服務。 只要點選一下或一通電話即可取得維修涵蓋範圍 – 免報價單、採購單或核准造成的延遲。
| 產品規格表 | 機型 | 說明 | 定價 |
|---|---|---|---|
| 檢視產品規格表 | 4200A-SCS-PKA 高解析度 IV |
4200A-SCS：參數分析儀主機 4201-SMU：兩個用於高電容設定的中功率 SMU 4200-PA：一個前置放大器 8101-PIV：具有取樣裝置的測試治具 |
索取報價 |
| 檢視產品規格表 | 4200A-SCS-PKB 高解析度 IV & CV |
4200A-SCS：參數分析儀主機 4201-SMU：兩個用於高電容設定的中功率 SMU 4200-PA：一個前置放大器 4215-CVU：一台高解析度多重頻率 C-V 單元 8101-PIV：一台具有取樣裝置的測試治具 |
索取報價 |
| 檢視產品規格表 | 4200A-SCS-PKC 高解析度 IV & CV |
4200A-SCS：參數分析儀主機 4201-SMU：兩個用於高電容設定的中功率 SMU 4211-SMU：兩個用於高電容設定的高功率 SMU 4200-PA：兩個前置放大器 4215-CVU：一台高解析度多重頻率 C-V 單元 8101-PIV：一台具有取樣裝置的測試治具 |
索取報價 |
| 檢視產品規格表 | 4200-BTI-A 超快速 NBTI/PBTI |
適用於以先進的矽 CMOS 技術進行精密的 NBTI 與 PBTI 量測套件 4200-BTI-A 包括：
|
索取報價 |
生物感測器特性
生物感測器或 bioFET 會將生物回應轉換為分析物，進而成為電子訊號。整合至 4200A-SCS 的 Clarius 軟體包含用來測試 bioFET 的專案。將其用作生物感測器的特性分析傳輸和輸出特性的起點，並從那裡拓展您的工作。
請下載生物感測器應用摘要來開始使用
毫微微法拉電容量測
以 4215-CVU 模組量測子毫微微法拉電容。透過驅動 1 V AC，4215-CVU 在量測 1 fF 電容器時的雜訊位準可低至 6 attofarad。Clarius 軟體包含數十種用於量測電容和擷取重要參數的應用，這只是其中之一。
以 4215-CVU 進行毫微微法拉 (1e-15F) 電容量測
特性
- 內建的毫微微法拉量測功能
- 從 1kHz 到 10MHz 的 10,000 個頻率步驟
- 使用使用者資料庫自訂任何裝置測試
半導體和 NVM 可靠度
將您的新技術放入測試，並搭配完整的脈波 I-V 特性。 4200A-SCS 隨附 NVRAM 技術最新功能的支援和隨即執行測試，從浮接閘道快閃到 ReRAM 和 FeRAM。 電壓與電流中的雙來源及量測功能可同時允許暫態和 I-V 域特性。
高阻抗應用解決方案的 C-V 量測
使用 Keithley 的自訂超低頻 C-V 技術來分析高電阻取樣的電容。 此技術的執行方式是僅使用電源量測單元 (SMU) 儀器，但也可與 4210-CVU 結合來執行更高的頻率量測。
使用 4200A-SCS 參數分析儀在高阻抗裝置上執行超低頻電容-電壓量測
特性
- 頻率範圍 .01 至 10 Hz，靈敏度 1 pF 至 10 nF
- 3 位半典型解析度，最小典型 10 fF
使用長纜線或電容治具進行測試
使用 4201 或 4211-SMU 作測試時，需要很長的纜線和較高電容的治具。對於連接 LCD 測試台、探棒、開關矩陣或任何其他大型或複雜至測試儀，這些 SMU 最為理想。可現場安裝的版本讓您無須將裝置送回服務中心，即可增加容量。
材料的電阻率
使用 4200A-SCS 搭配整合式 SMU 可輕鬆使用四點共線性探棒或 van der Pauw 方法來量測電阻率。 包含的測試會自動執行重複 van der Pauw 計算，為您節省寶貴的研究時間。 10aA 的最大電流解析度和 >1016 OHM 的輸入阻抗能為您提供更精確且精準的結果。
MOSFET 特性
4200A-SCS 可以透過元件或晶片上測試保留 MOS 裝置的完整特性的必要儀器。 包含的測試和專案會解決 MOSCap 的二極體厚度、臨界值電壓、摻雜濃度、流動離子濃度等等。 只需觸摸單一儀器盒中的按鈕，即可執行所有這些測試。
| 產品規格表 | 模組 | 說明 | 配置與報價 |
|---|---|---|---|
| 檢視產品規格表 | 4200-PA | 遠端前置放大器模組 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4200-BTI-A | 超快速 BTI 封包 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4200-SMU | 中功率電源量測單元 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4200A-CVIV | 多重切換 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4201-SMU | MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4210-SMU | 高功率電源量測單元 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4211-SMU | HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4215-CVU | 電容-電壓單位 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4220-PGU | 高壓脈衝波產生器單元 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4225-RPM | 遠端前置放大器/切換模組 | 配置與報價 |
| 檢視產品規格表 | 4225-PMU | 超快速脈衝量測單元 | 配置與報價 |
從實驗室到晶圓廠的自動化控制
Keithley 的自動化特性分析套件 (ACS) 提供您完整的設備控制。無論您是需要控制工作台上的幾台儀器，還是需要自動化整個測試機架來進行生產，ACS 都能為裝置特性、參數測試、可靠性測試和簡單的功能測試提供靈活的交互式環境。
- 執行簡單的測試或建立複雜的專案工作流程
- 在 ACS 中使用 Python 編寫程式碼，以獲得無限靈活性和控制力
- 手動或自動化晶片探棒控制
- 資料管理和與統計分析功能
Clarius+ 分析套件
Clarius+ 軟體套件可讓您輕鬆取得材料和裝置的特性分析洞察資訊。其會在 4200A-SCS 上以原生方式執行，以規劃、設定及分析您的測試結果。Clarius 也可以安裝在任何 Windows 10 PC 上，以便在實驗室中執行測試之前進行規劃及設定，或在收集資料後進行分析。
- 超過 200 項預先定的測試，讓您的實驗室運作得更快
- Keithley 工程師所策劃收集的真實範例資料
- 內建的內容相關說明和應用摘要
- 監控模式用以即時檢視結果