![keithley-logo.png keithley-logo](/-/media/sites/default/files/keithley-logo.png)
お問い合わせ
ダウンロード
マニュアル、データシート、ソフトウェアなどのダウンロード:
フィードバック
半導体テスタ|パラメトリック・テスト・システム
GaN/SiCを含む今日のアナログ/パワー半導体技術では、測定性能を最大化し、幅広い製品の組み合わせに対応し、さらにテスト・コストを最小限に抑えるパラメトリック・テストが必要とされています。40年以上にわたり、ケースレーは、プロセス統合、プロセス制御モニタリング、ダイソート・テスト(WATやKGD)や信頼性テストといった重要なアプリケーションにおいて、さまざまな重要な課題に対応してきました。
ケースレーのS530シリーズ・パラメトリック・テスト・システム(およびKTE 7ソフトウェア)は、新しいアプリケーションの出現や要件の変化にも対応できる、高速で柔軟性の高い構成を提供します。S530型は最大200Vのテストに対応し、S530-HV型は任意のピンで最大1,100 Vのテストが可能で、競合他社のソリューションよりもスループットを最大50%向上させることができます。KTE 7の新機能として、オプションのシステム・テストヘッドが追加されました。これにより、プローバとの直接ドッキングやレガシ・プローブ・カードの再利用が可能になり、車載規格IATF-16949の要件に対応した、システム・レベルの ISO-17025準拠のピン校正が可能になります。データの完全な相関関係と速度の向上により、S600やS400といったレガシ・システムからの最も簡単で円滑な移行が可能になります。
S500シリーズ統合テスト・システムは、構成の自由度が高い機器ベースのシステムとして提供されており、デバイス、ウエハ、またはカセット・レベルでの半導体特性評価に対応しています。S500シリーズ統合テスト・システムは、当社の実証済みの機器技術をベースに構築されており、お客様のニーズを満たす革新的な測定機能および柔軟性を兼ね備えています。独自の測定機能に加え、強力かつ柔軟な自動特性評価(ACS)ソフトウェアが用意されており、市場に出回っている他の類似製品にはない包括的なアプリケーションおよび機能を利用できます。
![keithley-logo.png keithley-logo](/-/media/sites/default/files/keithley-logo.png)
S530型の特長
- テストヘッドを含む柔軟なプローバ・インタフェース・オプションにより、ケースレーやキーサイトなどの既存のテスト・システムもサポート
- 業界標準のKTEソフトウェア環境
- 一度のプロービングでHV/LVパラメータのテストが完了
- 最新の品質基準を満たす新しいシステム・リファレンス・ユニット(SRU)による全自動のシステムレベル校正
- KTE 7ヘルス・チェック・ソフトウェア・ツール:システムのアップタイムおよびデータ整合性の最大化
- 過渡過電圧/過電流イベントからの保護機能を搭載。コストのかかるシステム・ダウンタイムやウエハの損傷を最小限に
- ISO-17025の校正要件を満たし、IATF-16949規制に対応
- 300mmウエハ製造でのSECS/GEMの統合
S500シリーズの特長
- フェムトアンペア(fA)未満の測定にも対応したフルレンジのソース・メジャー・ユニット(SMU)機器の仕様 - ほぼすべてのデバイスに対して幅広い測定が可能
- パルス生成および超高速I-V - メモリ特性評価、電荷ポンピング、シングルパルスPIV(電荷トラップ解析)、PIVスイープ(自己発熱回避)に対応
- 少/多チャンネル数システム - 並列テストに対応し、ケースレーのシステム・イネーブリング/拡張可能SMU機器を搭載
- 高電圧、大電流、ハイパワーのソース・メジャー機器 - パワーMOSFETやディスプレイ・ドライバなどのデバイスのテストに対応
- スイッチング、プローブ・カード、ケーブル一体型 - DUTの測定が容易