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半導体パラメータ・アナライザ｜4200A-SCS型
4200A-SCS型を使用することで、半導体デバイス、材料、プロセス開発の研究、信頼性／障害解析を効率的に実行できます。高性能パラメータ・アナライザは、電流-電圧（I-V）測定、容量-電圧（C-V）測定、超速パルスI-Vの同期測定が行えます。
（I-V）レンジ
10aA～1A
0.2µV～210V
（C-V）レンジ
1kHz～10MHz
±30V DCバイアス
レンジ
±40V（80Vp-p）、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート
高速で信頼性の高いパラメータ解析
高度な電気的特性評価が、これまでになく簡単になりました。4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、セットアップから特性評価テストの実行までの時間を最大50%短縮できるだけでなく、信頼性の高い優れた測定／解析機能を利用できます。さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。
特長
- DC I-V、C-V、パルスI-Vの測定に対応した高度な測定ハードウェア
- Clariusソフトウェア：ユーザによる変更が可能な数多くのアプリケーション・テストが付属しており、すぐにテストを開始できる
- リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、解析など豊富な機能を装備
正確なC-V特性評価
ケースレーの最新の静電容量／電圧ユニット（CVU）である4215-CVU型では、わずか1桁のフェムトファラドを測定できます。1VAC電源をケースレーの業界をリードするCVUアーキテクチャに統合することで、4215-CVU型は1kHz～10MHzの周波数で低ノイズの静電容量測定を実現しています。
特長
- 1VAC電源電圧を駆動できるクラス初のC-Vメータ
- 1 kHzの周波数分解能（1kHz～10MHz）
- 静電容量、コンダクタンス、アドミタンスの測定
- 4200A-CVIV型マルチスイッチで最大4チャンネルまで測定可能
測定、スイッチ、繰り返し。
4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。競合製品と異なり、4チャンネル・タイプの4200A-CVIV型はディスプレイを装備しており、手元で詳細な情報が確認できるため、予期しない測定結果になった場合でも、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。
特長
- 配線を変えずに、任意のデバイス端子にC-V測定結果を転送
- ユーザによるコンフィグレーションが可能な低電流機能
- 出力チャンネル名のパーソナライズが可能
- テスト・ステータスをリアルタイムに確認可能
安定した低電流測定によるI-V特性評価
4201-SMU型、4211-SMU型モジュールを使用することで、大きな負荷容量で安定した低電流測定が行えます。4200A-SCS型は4種類のソース・メジャー・ユニット（SMU）パッケージが選択できるため、I-V測定のニーズに合わせて柔軟にカスタマイズできます。ケースレー製品は、フィールド・インストールが可能なユニットやプリアンプ・モジュールが用意されているため、ダウンタイムを抑えながら、高精度な低電流測定を確実に行えます。
特長
- サービス・センターに返送せずに、お客様の環境で簡単にSMUの追加が可能
- fAレベルの高精度測定が可能
- 最大9つのSMUチャンネル
- 長いケーブルや大きなチャックにも対応可能
解析用プローバおよび温度コントローラの統合
4200A-SCS型パラメータ・アナライザは、MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 Cryogenic温度コントローラなど、数多くの手動／半自動ウェーハ・プローバおよびCryogenic温度コントローラをサポートしています。
特長
- "ポイント・アンド・クリック"の簡単なテスト・シーケンシング
- プローバの機能をテストするための"手動"プローバ・モード
- コマンドを削除しなくてもデバッグが可能なフェイル・プローバ・モード
コスト削減、投資保護
ケースレー・ケア・プランは、従来のサービスに比べて低コストで迅速、高品質のサービスを提供します。 ワンクリックまたは電話連絡で修理を開始します。見積り、注文書発行は不要、承認（稟議、決済）手続きによって遅れが生じることもありません。
| データシート | 型名 | 概要 | 価格 |
|---|---|---|---|
| データシート | 4200A-SCS-PKA型 高分解能IV測定 |
4200A-SCS型：パラメータ・アナライザ・メインフレーム 4201-SMU型：大容量セットアップ用中電力SMU（2） 4200-PA型：プリアンプ（1） 8101-PIV型：サンプル・デバイス付きのテスト・フィクスチャ（1） |
見積り依頼 |
| データシート | 4200A-SCS-PKB型 高分解能IV/CV測定 |
4200A-SCS型：パラメータ・アナライザ・メインフレーム 4201-SMU型：大容量セットアップ用中電力SMU（2） 4200-PA型：プリアンプ（1） 4215-CVU型：高分解能マルチ周波数CVユニット（1） 8101-PIV型：サンプル・デバイス付きのテスト・フィクスチャ（1） |
見積り依頼 |
| データシート | 4200A-SCS-PKC型 ハイ・パワーIV/CV測定 |
4200A-SCS型：パラメータ・アナライザ・メインフレーム 4201-SMU型：大容量セットアップ用中電力SMU（2） 4211-SMU型：大容量セットアップ用ハイ・パワーSMU（2） 4200-PA型：プリアンプ（2） 4215-CVU型：高分解能マルチ周波数CVユニット（1） 8101-PIV型：サンプル・デバイス付きのテスト・フィクスチャ（1） |
見積り依頼 |
| データシート | 4200-BTI-A型 超速NBTI/PBTI測定 |
最先端CMOSテクノロジのNBTI／PBTI測定に対応。4200-BTI-A型パッケージに含まれるもの：
|
見積り依頼 |
半導体パラメータ・アナライザに関するよくある質問（FAQ）
半導体パラメータ・アナライザとは？
半導体パラメータ・アナライザとは、高感度の電流/電圧測定、インピーダンス測定、超速IV測定（パルス測定)が1台で簡単かつ正確に実現できる測定器のことです。半導体デバイス、材料、電子部品など様々なデバイスの電気特性評価に活用されています。
半パラとは？
半パラとは半導体パラメータ・アナライザの略称です。
半導体パラメータ・アナライザ（半パラ）の使い方は?
ケースレーの4200A-SCS型は測定ニーズの変化に合わせてアップグレード可能なプラットフォームであるため、必要なときに必要なだけの測定機能と性能を追加し、使用できます。接続も非常に簡単です。
半導体パラメータ・アナライザ（半パラ）の特徴は
１台でDC／パルスI-V、C-Vそしてトランジェント評価を簡単かつ確実に実行できます。
- l電気特性評価をシンプルに実現
- 最新のClariusユーザ・インタフェースによる3つのステップで設定～解析を簡単実行
- 450以上のアプリケーション・ベースのテスト・ライブラリ
- 業界トップレベルの微小電流測定が可能
- KEITHLEY 定評のプリアンプで0.01fAの高電流分解能
- 最先端評価もカバーする±40V/800mAの超速I-V・トランジェント測定
バイオセンサの特性評価
バイオセンサ（FETバイオセンサ）は、分析対象の生体反応を電気信号に変換します。4200A-SCS型に内蔵されているClariusソフトウェアでは、FETバイオセンサのテストに使用できるプロジェクトが提供されています。バイオセンサの転送特性や出力特性を把握するための出発点として最適なだけでなく、さまざまな作業に活用していただけます。
バイオセンサに関するアプリケーション・ノートを今すぐダウンロードする
フェムトファラド単位の静電容量の測定
4215-CVUモジュールを使用して、サブフェムトファラド単位の静電容量を測定できます。4215-CVU型では、1VACを駆動することで、わずか6アトファラドという低いノイズ・レベルで1fFのコンデンサを測定できます。これは、静電容量の測定や重要なパラメータの抽出に最適なClariusソフトウェアに含まれる数十種類のアプリケーションのうちの1つに過ぎません。
4215-CVU型を使用してフェムトファラド（1e-15F）単位の静電容量を測定する
特長
- フェムトファラド測定機能を内蔵
- 周波数ステップ：10,000（1kHz～10MHz）
- ユーザ・ライブラリを使用してデバイスに最適なテストをカスタマイズ
半導体／NVMの信頼性
完全にパルス化されたI-V特性評価を使用して、新技術をテスト段階に引き上げましょう。 4200A-SCS型には、フローティング・ゲート・フラッシュからReRAMおよびFeRAMまでの最新のNVRAMテクノロジをサポートし、すぐに実行できるテストが内蔵されています。電流と電圧のデュアル供給と測定機能により、トランジェントとI-Vドメインの両方の特性評価が可能です。
高インピーダンス・アプリケーションのC-V測定
ケースレーのカスタム低周波数C-Vテクニックを使用して、高抵抗サンプルの静電容量を解析します。この手法は、SMU（ソース・メジャー・ユニット）機器のみを使用して実行されますが、4210-CVU型と組み合わせることで、より高い周波数も計測できます。
4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用した高インピーダンス・デバイスでの超低周波のC-V測定
MOSFET/MOSCAPデバイスの特性評価を簡素化するヒントと技術
特長
- 1pF～10nFの感度による0.01～10Hzの周波数レンジ
- 3.5桁の標準分解能、10fFの最小値
長いケーブル／容量性フィクスチャを使用するテストに
テストを行う際に、きわめて長いケーブル、大きな負荷容量のフィクスチャが必要な場合は、4201-SMU型または4211-SMU型を使用します。これらのSMUは、LCDテスト・ステーション、プローバ、スイッチ・マトリクス、その他の大型または複雑なテスタとの接続に最適です。フィールド・インストールが可能なバージョンでは、サービス・センタに返送せずに容量を追加できます。
材料の比抵抗
SMUを内蔵した4200A-SCS型を使用し、4点共線プローブまたはファンデルポー法を使用して、抵抗率を簡単に測定します。含まれているテストではファンデルポー計算を自動的に反復して行い、貴重な研究時間を節約します。最高電流分解能が10aA、入力インピーダンスが>1016Ω超であるため、より正確な結果が得られます。
MOSFET特性評価
4200A-SCS型は、コンポーネントまたはウエハ内のテストを通じて、MOSデバイスの完全な特性評価に必要なすべての計測器を統合できます。MOSCapの酸化膜の厚さ、しきい値電圧、ドーピング濃度、可動イオン濃度などを含む、テストとプロジェクトが含まれています。これらのテストはすべて、計測器上でボタンをタッチするだけで実行できます。
| データ・シート | モジュール | 概要 | 構成／見積り |
|---|---|---|---|
| データシート | 4200-PA | リモート・プリアンプ・モジュール | 構成／見積り |
| データシート | 4200-BTI-A | 超高速BTIパッケージ | 構成／見積り |
| データシート | 4200-SMU | ミディアム・パワー・ソースメータ・ユニット | 構成／見積り |
| データシート | 4200A-CVIV | マルチスイッチ | 構成／見積り |
| データシート | 4201-SMU | MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT | 構成／見積り |
| データシート | 4210-SMU | ハイパワー・ソースメータ・ユニット | 構成／見積り |
| データシート | 4211-SMU | HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT | 構成／見積り |
| データシート | 4215-CVU型 | 容量電圧ユニット | 構成／見積り |
| データシート | 4220-PGU | 高電圧パルス・ジェネレータ・ユニット | 構成／見積り |
| データシート | 4225-PMU | 超高速パルス・メジャー・ユニット | 構成／見積り |
| データシート | 4225-RPM | リモート・プリアンプ／スイッチ・モジュール | 構成／見積り |
ラボからファブまで、あらゆる構成に対応可能な自動制御機能
ケースレー自動特性評価ソフトウェア（ACS）は、装置の優れた制御を実現します。ACSは、ベンチ上の数台の機器を制御する必要がある場合でも、製造テスト用のラック全体を自動化する必要がある場合でも、デバイスの特性評価、パラメトリック・テスト、信頼性テストから、シンプルな機能テストまで、柔軟性に優れたインタラクティブな環境を提供します。
- 単発テストの実行から複雑なプロジェクト・ツリーの構築まで幅広く対応
- ACS内で実行可能なPythonコードによる優れた柔軟性と制御能力
- 手動／自動ウエハ・プローバ制御
- データ管理／統計解析機能
Clarius＋解析ソフトウェア
Clarius+ソフトウェアを使用することで、材料やデバイスの特性評価に関する詳細なデータを簡単に得ることができます。4200A-SCS型上で動作し、テストの計画、設定、結果の解析を行うことができます。また、ClariusはWindows 10 PCにインストールすることができ、ラボで実行する前にテストを計画／設定したり、収集したデータを解析することができます。
- 200種類以上の設定済みテストにより、ラボの運用を迅速化
- ケースレーのエンジニアが収集した実際のサンプル・データ
- 状況依存ヘルプとアプリケーション・ノートを内蔵
- リアルタイムで結果を確認できるモニタ・モード