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Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기
4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.
(I-V) 범위
10aA - 1A
0.2µV - 210V
(C-V) 범위
1kHz - 10MHz
± 30V DC 바이어스
범위
±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/sec, 5ns 샘플링 레이트
파라메트릭 분석 정보를 빠르고 선명하게 제공
확실한 분석 기능을 발전시키는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 설정부터 특성화 테스트 실행 단계까지 소요되는 시간을 최대 50%까지 단축해 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공할 수 있습니다. 또한 임베디드 측정 전문 지식을 통해 최상의 테스트 지침을 제공하고 결과로 도출된 측정값에 대해 최고의 신뢰도를 부여합니다.
주요 특징
- DC I-V, C-V 및 펄스형 I-V 측정 유형에 사용되는 고급 측정 하드웨어
- Clarius 소프트웨어에 포함된 사용자 수정 가능한 수백 가지의 애플리케이션 테스트를 통해 즉시 테스트 시작
- 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 작성 및 분석 기능
정확한 C-V 특성화
Keithley의 최신 커패시턴스-전압 장치(CVU), 4215-CVU로 한 자릿수 펨토패럿을 측정 하십시오. 업계를 선도하는 Keithley의 CVU 아키텍처에 1V AC의 소스를 통합하면 4215-CVU에서 1kHz ~ 10MHz의 주파수에서 낮은 노이즈의 커패시턴스 측정값을 제공합니다.
주요 특징
- 1V AC의 소스 전압을 구동할 수 있는 동급 최초의 C-V 미터
- 1kHz의 주파수 분해능(범위: 1 kHz ~ 10MHz)
- 커패시턴스, 전도도 및 어드미턴스 측정
- 4200A-CVIV 멀티스위치로 최대 네 개의 채널 측정
측정. 전환. 반복
4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.
주요 특징
- 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
- 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
- 출력 채널 이름 개인화
- 실시간으로 테스트 상태 보기
I-V 특성화를 위한 안정적인 저전류 측정
4201-SMU 및 4211-SMU 모듈을 사용하면 고커패시턴스 시스템에서 안정적인 저전류 측정을 달성할 수 있습니다. 선택 가능한 네 가지 모델의 SMU(source measure unit)를 통해 모든 I-V 측정 요구 사항에 맞추어 4200A-SCS를 사용자 정의할 수 있습니다. Keithley는 현장 설치 가능한 장치와 선택적인 프리앰프 모듈을 제공함으로써 다운타임이 거의 없이 가장 정확한 저전류 측정을 수행하도록 해줍니다.
주요 특징
- 장비를 공장에 되돌려 보내지 않고 SMU 추가
- 펨토암페어 측정하기
- 최대 9개 SMU 채널
- 긴 케이블 또는 큰 척에 최적화
분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된
4200A-SCS 파라미터 분석기는 MPI, Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336 극저온 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동/반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.
주요 특징
- "지정 및 클릭" 테스트 시퀀싱
- "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
- 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능
비용 절감 및 투자 보호
Keithley 케어 플랜은 요청 시 서비스 이벤트 비용의 일부만으로 신속한 고품질 서비스를 제공합니다. 클릭 한 번이나 전화 한 통화로 수리 보증을 확보하여 견적서나 구매 주문서가 필요하지 않고 승인이 지연되지도 않습니다.
| 데이터 시트 | 모델 | 설명 | 가격 |
|---|---|---|---|
| 데이터 시트 보기 | 4200A-SCS-PKA 고해상도 IV |
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임 4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개 4200-PA: 프리앰프 1개 8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개 |
견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4200A-SCS-PKB 고해상도 IV 및 CV |
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임 4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개 4200-PA: 프리앰프 1개 4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치 8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개 |
견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4200A-SCS-PKC 고전력 IV 및 CV |
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임 4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개 4211-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 고전력 SMU 2개 4200-PA: 프리앰프 2개 4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치 1개 8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개 |
견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4200-BTI-A 초고속 NBTI/PBTI |
4200-BTI-A는 최첨단 실리콘 CMOS 기술의 복잡한 NBTI 및 PBTI 측정에 최적화된 패키지로 다음이 포함됩니다.
|
견적 요청 |
바이오센서 특성화
바이오센서 또는 bioFET는 분석물에 대한 생물학적 응답을 전기 신호로 변환합니다. 4200A-SCS에 통합된 Clarius 소프트웨어에는 bioFET 테스트를 위한 프로젝트가 포함되어 있습니다. 이를 시작점으로 사용하여 바이오센서의 전송 및 출력 특성을 특성화하고 거기에서 작업 영역을 확장합니다.
바이오센서 애플리케이션 노트를 다운로드하여 시작하기
펨토패럿 커패시턴스 측정
4215-CVU 모듈로 펨토패럿(femtofarad) 이하의 커패시턴스를 측정하십시오. 1V AC를 구동하면 4215-CVU에서 1fF 커패시터를 측정할 때 6 아토패럿(attofarad)만큼이나 낮은 노이즈 레벨을 달성할 수 있습니다. 이는 커패시턴스를 측정하고 중요한 파라미터를 측정하기 위한 Clarius 소프트웨어에 포함된 수십 개의 애플리케이션 중 하나에 불과합니다.
4215-CVU로 펨토패럿(1e-15F) 커패시턴스 측정
주요 특징
- 내장 펨토패럿 측정 기능
- 1kHz에서 10MHz에 이르는 10,000개의 주파수 단계
- 사용자 라이브러리로 장치에 대한 테스트 사용자 정의
반도체 및 NVM 안정성
완벽한 펄스형 I-V 특성화로 테스트에 새로운 기술을 투입합니다. 4200A-SCS에는 플로팅 게이트 플래시부터 ReRAM 및 FeRAM에 이르는 NVRAM 기술에 대한 지원 및 실행 준비가 완료된 테스트가 포함되어 있습니다. 전류 및 전압에 대한 듀얼 소싱 및 측정 기능을 통해 과도 및 I-V 도메인 특성화가 가능합니다.
MOSFET 장치의 Hot Carrier Induced Degradation 평가
높은 임피던스 응용 사례에 대한 C-V 측정
Keithley의 사용자 정의 초저주파수 C-V 기법을 사용하여 높은 저항 샘플의 커패시턴스를 분석합니다. 이 기법은 SMU(Source Measure Unit) 장비만 사용하여 수행되지만 더 높은 주파수 측정을 위해 4210-CVU와 함께 사용할 수도 있습니다.
4200A-SCS 파라미터 분석기를 사용하여 높은 임피던스 장치에 대해 초저주파수 커패시턴스-전압 측정 수행
MOSFET/MOSCAP 장치 특성화를 간소화하기 위한 팁과 기술
주요 특징
- 1pF - 10nF 민감도의 .01 - 10Hz 주파수 범위
- 3½ digits 일반 분해능, 최소 일반 10fF
긴 케이블 또는 커패시턴스 픽스쳐를 사용하는 경우의 테스트
매우 긴 케이블이나 고캐패시턴스 픽스쳐가 필요한 테스트에는 4201 또는 4211-SMU를 사용하십시오. 이러 SMU는 LCD 테스트 스테이션, 프로버, 스위치 매트릭스 또는 기타 크고 복잡한 테스터에 연결하는 데 이상적입니다. 현장 설치 가능 버전을 사용하면 장치를 서비스 센터로 반송하지 않고도 용량을 추가할 수 있습니다.
물질 저항률
통합 SMU와 함께 4200A-SCS를 사용하여 4포인트 공직선형(collinear) 프로브 또는 면저항 측정법(van der Pauw)으로 저항률을 쉽게 측정할 수 있습니다. 포함된 테스트는 반복적인 면저항 측정 계산을 자동으로 수행하여 귀중한 연구 시간을 단축합니다. 최대 전류 분해능 10aA 및 1016옴 이상의 입력 임피던스를 사용하여 보다 정확하고 정밀한 결과를 얻을 수 있습니다.
MOSFET 특성화
4200A-SCS는 컴포넌트 또는 웨이퍼상 테스트를 통해 MOS 장치의 전체 특성화에 필요한 모든 장비를 보유할 수 있습니다. 포함된 테스트 및 프로젝트는 MOSCap의 산화물 두께, 임계 전압, 도핑 농도, 이동 이온 농도 등을 해석합니다. 이러한 모든 테스트는 단일 장비 박스의 버튼을 터치하여 실행할 수 있습니다.
| 데이터 시트 | 모듈 | 설명 | 구성 및 견적 요청 |
|---|---|---|---|
| 데이터 시트 보기 | 4200-PA | 원격 프리앰프 모듈 | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4200-BTI-A | 초고속 BTI PKG | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4200-SMU | 중간 전력 SMU(소스 측정 장치) | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4200A-CVIV | 멀티 스위치 | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4201-SMU | MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4210-SMU | 고전력 소스 측정 장치 | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4211-SMU | HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4215-CVU | 커패시턴스-전압 장치 | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4220-PGU | 고전압 펄스 발생기 장치 | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4225-RPM | 원격 프리앰프/스위치 모듈 | 구성 및 견적 요청 |
| 데이터 시트 보기 | 4225-PMU | 초고속 펄스 측정 장치 | 구성 및 견적 요청 |
실험실에서 제조 환경까지 자동화된 제어
Keithley ACS(자동 특성화 제품군)는 장비에 대한 완벽한 제어를 제공합니다. 벤치에 있는 몇 개의 장비를 제어해야 하든, 생산을 위해 전체 테스트 랙을 자동화해야 하든 관계없이, ACS는 장치 특성화, 파라메트릭 테스트, 안정성 테스트, 간단한 기능 테스트를 위한 유연한 대화형 환경을 제공합니다.
- 간단한 1회 테스트 수행 또는 복잡한 프로젝트 트리 구성
- ACS 내부의 Python 코딩을 통해 무한한 유연성과 제어 기능 제공
- 수동 또는 자동 웨이퍼 프로버 제어
- 데이터 관리 및 통계 분석 기능
Clarius+ 분석 제품군
Clarius+ 소프트웨어 제품군을 사용하면 소재와 기기에 대한 통찰력을 쉽게 얻을 수 있습니다. 기본적으로 4200A-SCS에서 실행되어 테스트 결과를 계획, 구성 및 분석합니다. 또한 Clarius를 Windows 10 PC에 설치하여 테스트를 실행하기 전에 테스트를 계획하고 구성하거나 데이터가 수집된 후에 데이터를 분석할 수 있습니다.
- 랩 실행 속도를 높여주는 200개 이상의 사전 구성된 테스트
- 키슬리 엔지니어가 수집한 실제 예제 데이터
- 내장 컨텍스트 도움말 및 애플리케이션 메모
- 결과를 실시간으로 보기 위한 모니터 모드